感應加熱長晶爐裝置主要由感應加熱設備，坩堝及保溫裝置、密封石英管裝置、區(qū)熔裝置、定向凝固裝置、真空裝置、保護氣氛裝置、測溫裝置、支架及操作臺裝置與可視化控制系統(tǒng)組成。

適應于碳化硅、藍寶石、激光晶體等各種晶體的長晶工藝。

坩堝類型可適應：石墨坩堝、依金坩堝、鎢鉬坩堝、鉑金坩堝等。

感應加熱長晶爐特點：

1、無易損件，運行成本低。

2、起爐快，熱慣性小，系統(tǒng)響應速度高。

3、直接加熱坩堝，功率密度大，更易達到高溫

4、采用高精度感應加熱設備，功率控制精度高，可實現(xiàn)高精度溫度控制。

5、感應加熱與坩堝之間沒有電連接點，保溫條件好，溫場均勻，使用壽命長。